《胎压监测系统(TPMS)用单片复合传感器芯片产品化技术》项目通过验收


2014-1-23 14:40:26

20131218,上海市科学技术委员会在“上海先进”主持召开了由“上海先进”牵头,联合中科院微系统所和北京大学上海微电子研究院共同承担的市科委科研计划项目《胎压监测系统(TPMS)用单片复合传感器芯片产品化技术》的验收会。

来自科研院所、高校和行业协会等方面组成的验收专家组认真听取了该课题的实施总结报告,审查了测试报告和用户报告等相关文档资料,观看了成果演示。


 

该项目经过两年的努力,三家单位共同研发出了具有自主知识产权的TPMS 传感器集成芯片技术,实现了压力和加速度双敏感单元在单硅片上的微小化集成,开发出了一种与标准半导体生产线相兼容的单硅片单面传感器芯片加工工艺和开发出了适合在标准IC 半导体生产线兼容的TPMS 复合传感器芯片产品化技术;开展了TPMS 复合传感器芯片SiP 封装技术研究。完成了TPMS 复合传感器芯片制造技术在6英寸工艺线的工艺固化和技术移植,实现了TPMS 复合传感器芯片的国产化规模制造,批量制造芯片成品率达到92%,产能达到500 圆片/月。复合传感器芯片性能达到了课题任务书的技术考核指标。

专家组专家认为课题组完成的研究成果达到了课题任务书的考核要求,一致同意该课题通过验收。

该项目的顺利验收体现出了“上海先进”对于政府项目一贯认真负责、严格履行的作风以及良好的合作精神。

 

 

 

何姚军供稿

20131218

 

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