外延工艺

上海先进外延设备:桶式外延炉和单片式外延炉
  桶式外延炉包括AMAT公司生产的Centura 7800和Centura 7700两种型号,其主要用于5英寸晶圆和6英寸晶圆的加工。
  单片式外延炉包括AMAT公司生产的Centura 5200和ASM公司生产的E200两种型号,其主要用于8英寸晶圆的加工。另外,ASM E200可用于部分的5英寸和6英寸工艺。
上海先进外延工艺能力
  上海先进具备5英寸、6英寸和8英寸晶圆的外延生产能力。
  上海先进的外延具有减压和常压两种工作模式,可为客户提供N型和P型的外延工艺。
  上海先进可提供的外延厚度范围从0.5μm到15μm,外延电阻率范围从0.5Ω·cm到150Ω·cm,在良好地控制厚度、电阻率的同时,也能够良好地控制外延滑移线,图形漂移及畸变的产生。
  上海先进8英寸外延还具备特色产品的工艺能力,如Power MOS、TVS(高阻外延),以及Super junction等工艺。

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