Fab 1/2

  上海先进1/2号晶圆制造厂原以1号晶圆及2号晶圆制造厂形式独立管理及经营,分别生产5英寸及6英寸晶圆。5英寸晶圆厂建于1990年,6英寸晶圆厂建于1996年,两个厂于2005年合并。自2010年起,公司不断将现有5英寸晶圆的产能转为6英寸晶圆的产能,截至2017年12月31日,5英寸晶圆每月产能约为7000片,6英寸晶圆每月产能约为42000片。

 

  1/2号晶圆制造厂以模拟电路生产为主,有十年以上的汽车电子芯片制造经验,也是中国IGBT工艺芯片最大的生产厂。

 

  1/2号晶圆制造厂包括两间无尘生产室,无尘生产室1是用于5英寸晶圆生产线的10级无尘晶圆制造厂,无尘生产室2是用于6英寸晶圆生产线的1级无尘晶圆制造厂。1/2号晶圆制造厂主要的工艺技术为IGBT、Bipolar、BiCMOS、CMOS、Planar MOSFET、Trench Shottky、TVS、MEMS等。IGBT工艺规范范围为1200V至6500V;Bipolar工艺最小线宽为1.5微米,工艺规范应用电压范围为8V至80V;CMOS工艺最小线宽为0.6微米;Trench Shottky工艺规范范围为45V至100V。

 

  1/2号晶圆制造厂已有十年以上汽车电子芯片制造的历史,为欧洲一流汽车配件供应商供货。通过不断的努力,2009年成功地获得了VDA 6.3质量体系A级供应商资质,是中国首个VDA 6.3质量体系A级供应商工厂。因此,它有着丰富的工艺和制造经验,更重要的是它有着非常严格的质量管理系统以保证供应稳定的高品质的汽车电子芯片。目前,汽车电子芯片的成品率、工艺能力、客户投诉、按时交付等指标都已达到世界先进水平。

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